为促进产业基础能力提升，推动制造业高质量发展，全民推进新型工业化，加快制造强国和网络强国建设，工业和信息化部、财政部联合组织开展2023年产业基础再造和制造业高质量发展专项工作，聚焦重点产业链和战略关键领域，支持产业链协同攻关、战略急需基础产品攻关、公共服务平台建设等方面。中国电子院申报的“2023年大型高灵敏微振动环境监测控制系统项目”成功获批。

        本项目研制生产过程及在线检测微振动检测监测控制系统产品，解决微振动测试分辨力高、自动化控制等难题，提升实时微振动环境保障与产品质量诊断能力。开展大型微振动环境监测控制系统性能提升与优化设计、精密电子制造微振动环境检测与监测平台建设精密电子制造主动隔振系统装置研发大型微振动环境监测控制系统的工程化应用和推广。

        项目主要建设内容分别为：研制高精度采集系统，攻克微振动信号的高分辨力、低噪声、高灵敏度的采集难题，实现多干扰因素条件下精密设备的微振动环境在线监测；从理论研究、架构设计、产品研发等维度对主动控制隔振技术进行攻关，攻克微振动环境高精度控制难题，逐步形成自有技术优势，并同步进行100%部件国产化；可在航空航天、精密光学、电子信息、生物医药、大型科学装置等典型场景中进行示范应用。